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四探針電阻測試儀其保養是尤為重要的

點擊次數:131 發布時間:2025-10-22
  四探針電阻測試儀是一種用于測量物質電阻率、電阻及方塊電阻的專業設備,廣泛應用于半導體材料、薄層材料檢測以及化工、建材等行業。它基于四探針接觸法設計,通過外側兩探針施加穩定電流,內側兩探針測量電勢差,實現電流-電壓分離測量,有效消除接觸電阻和引線電阻的干擾,確保測量結果的高精度。
  該儀器適配多種樣品形態,包括塊狀、棒狀及薄膜材料,測量范圍覆蓋電阻率10??~10?Ω·cm,標準不確定度≤2%。其硬件配置先進,采用液晶顯示屏與自動溫度補償系統,二代機型配備自動傳感測試架,減少探針與樣品接觸損傷。內置計算機可自動調整系數,通過接口實現數據存儲與導出,提升操作便捷性。
  四探針電阻測試儀的保養方法:
  一、日常保養(每次使用前后)
  清潔探針
  目的:去除探針尖d的氧化物、油污、灰塵或殘留樣品,防止接觸不良和測量誤差。
  方法:
  使用無水乙醇(分析純)或異丙醇浸濕無塵布或棉簽,輕輕擦拭四個探針的尖d。
  對于頑固污染物,可使用極細的研磨紙(如金相砂紙,粒度≥1000#)極其輕微地打磨探針尖d,然后用酒精徹d清潔。(此操作需謹慎,避免改變探針形狀或間距)
  嚴禁使用硬物刮擦或腐蝕性溶劑。
  清潔樣品臺
  用干凈的無塵布或蘸有無水乙醇的棉簽擦拭樣品臺表面,確保無灰塵、油漬或導電殘留物,避免影響測量或造成短路。
  檢查探針狀態
  目視檢查四個探針是否筆直、無彎曲、無斷裂。
  確認探針尖d銳利但不過分鋒利(避免劃傷樣品),無嚴重磨損或變形。
  檢查探針間距是否一致(可用放大鏡觀察)。
  檢查加載機構
  手動升降探針數次,感受是否有卡頓或松動。
  確保恒力彈簧或壓力調節裝置工作正常,探針能平穩下落并保持穩定接觸壓力。
  二、定期保養(每周/每月)
  深度清潔
  斷開電源,用壓縮空氣(低氣壓)吹掃探針支架、樣品臺及周圍區域,清除積聚的細小顆粒。
  檢查并清潔探針與線纜的連接點,確保接觸良好。
  校準驗證
  使用標準樣片(已知電阻率或方塊電阻的標準硅片或薄膜電阻片)進行測量。
  將測量結果與標準值對比,評估儀器的準確性和重復性。
  如果偏差超出允許范圍(如±5%),需要進行校準或維修。
  檢查線纜與接口
  檢查所有連接線纜(探針線、電源線)是否有破損、擠壓或接觸不良。
  確保各接口(如USB、RS232)清潔、牢固。
  三、長期/專業保養(每季度/半年/年度)
  探針更換
  當探針出現嚴重磨損、彎曲、斷裂或無法通過清潔恢復性能時,必須更換。
  務必使用原廠或規格完q匹配的探針,確保材質、直徑、長度和間距一致。
  更換后需重新進行校準驗證。
  機械結構維護
  對升降導軌、軸承等運動部件進行潤滑(使用專用精密儀器潤滑油,避免過量)。
  檢查并緊固所有螺絲和固定件,防止松動影響探針垂直度。
  電氣系統檢查
  由專業技術人員檢查恒流源的穩定性、電壓表的精度以及內部電路板狀態。
  必要時進行專業校準(traceable calibration),確保符合計量標準。
  軟件與固件更新
  檢查制造商是否有發布新的控制軟件或固件更新,以提升性能或修復已知問題。
  四、通用注意事項與存放
  輕拿輕放:避免劇烈震動或撞擊,尤其是探針部分非常脆弱。
  環境要求:
  存放和使用環境應干燥、清潔、無腐蝕性氣體。
  避免陽光直射和溫度劇烈變化。
  理想溫濕度:室溫(20-25°C),相對濕度<60%。
  防塵保護:
  不使用時,用防塵罩覆蓋儀器,或存放在專用儀器柜中。
  可在儀器內放置干燥劑,防潮。
  正確操作:
  測量時確保樣品表面平整、清潔、干燥。
  探針應垂直下落,避免側向受力。
  避免在通電狀態下插拔探針線纜。
  記錄保養日志:
  建立設備保養檔案,記錄每次清潔、校準、更換部件的日期和內容。

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